Das Institut für Mikroelektronik besitzt zwei Arbeitsgruppen:
Arbeitsgruppe für Sensorik und Mikrosystemtechnik
Leiter: Prof. Bernhard Jakoby
Arbeitsgruppe für Mikrowellentechnik
Leiter: Doz. Christian Diskus
Die Arbeitsgruppen entwickeln neue Bauelemente,
Schaltungen und Systeme ("Mikrosysteme") für
die Materialcharakterisierung und zur Messung mechanischer Größen