P. Kruck, Manfred Helm, Günther Bauer, Kurt Lübke,
"Trockenätzen zur Herstellung von Si/SiGe-Infrarotdedektoren"
: Tagungsband zum Workshop Grundlagen und Technologie elektronischer Bauelemente, 5.-8. April 1995, Großarl im Pongau, Seite(n) 23-26, 4-1995, ISBN: 3-901578-01-3, Tagungsband zum Workshop Grundlagen und Technologie elektronischer Bauelemente, 5.-8. April 1995, Großarl im Pongau, Seiten 23-26.
Original Titel:
Trockenätzen zur Herstellung von Si/SiGe-Infrarotdedektoren
Sprache des Titels:
Deutsch
Original Buchtitel:
Tagungsband zum Workshop Grundlagen und Technologie elektronischer Bauelemente, 5.-8. April 1995, Großarl im Pongau
Seitenreferenz:
23-26
Erscheinungsmonat:
4
Erscheinungsjahr:
1995
Notiz zum Zitat:
Tagungsband zum Workshop Grundlagen und Technologie elektronischer Bauelemente, 5.-8. April 1995, Großarl im Pongau, Seiten 23-26.