Konferenzband - VDI Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2008
Original Kurzfassung:
Für akustische Sensoren wird oftmals der piezoelektrische Effekt zur Anregung resonanter Schwingungen verwendet. Neuere Entwicklungen befassen sich mit alternativen Anregungsformen, so z.B. der kapazitiven Anregung von CMUTs und der Mikrostrukturierung piezoelektrischer Schichten, wie z.B. in der FBAR-Technologie. Eine weitere mögliche Anregungsform mechanischer Schwingungen basiert auf der Nutzung von Lorentzkräften. Wir haben verschiedene Methoden dieser elektromagnetischen Anregung für nicht-piezoelektrische Sensorelemente untersucht und stellen drei ausgewählte Elemente und zugehörige Ergebnisse vor.
Sprache der Kurzfassung:
Deutsch
Englische Kurzfassung:
Resonant acoustic sensors are traditionally based on the piezoelectric effect. More recently, capacitive micromachined transducer (CMUT) and film bulk acoustic resonator (FBAR) technologies featuring alternative transduction mechanisms have been investigated. Our research has recently dealt with different possibilities of electromagnetic excitation based on the utilization of Lorentz forces in acoustic resonator elements, thus avoiding the necessity of piezoelectric materials. In this contribution we present three selected sensor elements for different applications and associated recent experimental results.
Forschungs-