Publikationsdetails

Zitat:	B. Fünfstück, Friedrich Schäffler, H. Seyringer, ""Electron Beam Lithography of Nanostructures"" , in Current Developments of Microelectronics, 1999, "H. Seyringer, B. Fünfstück, F. Schäffler: "Electron Beam Lithography of Nanostructures", In: "Current Developments of Microelectronics", ed. K. Riedling, Gesellschaft für Mikroelektronik, Wien 1999, p. 201."
Original Titel:	"Electron Beam Lithography of Nanostructures"
Sprache des Titels:	Englisch
Journal:	Current Developments of Microelectronics
Erscheinungsjahr:	1999
Notiz zum Zitat:	"H. Seyringer, B. Fünfstück, F. Schäffler: "Electron Beam Lithography of Nanostructures", In: "Current Developments of Microelectronics", ed. K. Riedling, Gesellschaft für Mikroelektronik, Wien 1999, p. 201."
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in sonstiger referierter Fachzeitschrift
Autoren:	B. Fünfstück, Friedrich Schäffler, H. Seyringer
Forschungseinheiten:	Abteilung für Halbleiterphysik Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik

fodok.jku.at

Benutzerbetreuung: Sandra Winzer, letzte Änderung:

Johannes Kepler Universität (JKU) Linz, Altenbergerstr. 69, A-4040 Linz, Austria
Telefon + 43 732 / 2468 - 9121, Fax + 43 732 / 2468 - 29121, Internet www.jku.at, Impressum