Wolfgang Johann Heiss, Gudrun Kocher, Thomas Schwarzl, Gunther Springholz,
""CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductors""
, in Current Developments of Microelectronics, 1999, T. Schwarzl, W. Heiss, G. Kocher-Oberlehner, G. Springholz: "CH4/H2 Plasme Etching of IV-VI Semiconductors", In: "Current Developments of Microelectronics", ed. K. Riedling, Gesellschaft für Mikroelektronik, Wien 1999, p. 197.
Original Titel:
"CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductors"
Sprache des Titels:
Englisch
Journal:
Current Developments of Microelectronics
Erscheinungsjahr:
1999
Notiz zum Zitat:
T. Schwarzl, W. Heiss, G. Kocher-Oberlehner, G. Springholz: "CH4/H2 Plasme Etching of IV-VI Semiconductors", In: "Current Developments of Microelectronics", ed. K. Riedling, Gesellschaft für Mikroelektronik, Wien 1999, p. 197.
Publikationstyp:
Aufsatz / Paper in sonstiger referierter Fachzeitschrift