Gerold Neuwirt,
"In-situ determination of layer composition and growth rate with spectroscopic ellipsometry: analysis algorithms and software for real-time data analysis"
, 2000, G. Neuwirt Bestimmung der ternären Zusammensetzung und der Wachstumsrate eit Hilfe von in-situ Ellipsometrie Diplomarbeit Univ. Linz, 2000
Original Titel:
In-situ determination of layer composition and growth rate with spectroscopic ellipsometry: analysis algorithms and software for real-time data analysis
Sprache des Titels:
Deutsch
Erscheinungsjahr:
2000
Notiz zum Zitat:
G. Neuwirt Bestimmung der ternären Zusammensetzung und der Wachstumsrate eit Hilfe von in-situ Ellipsometrie Diplomarbeit Univ. Linz, 2000