Thomas Schwarzl, Wolfgang Johann Heiß, Gudrun Kocher-Oberlehner, Gunther Springholz,
"CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductors"
, in K. Riedling: Proceedings Seminar Aktuelle Entwicklungen der Mikroelektronik, Bad Hofgastein 1999, Seite(n) 197, 3-1999, ISBN: 3-901578-04-8, T. Schwarzl, W. Heiß, G. Kocher-Oberlehner, G. Springholz CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductors Proc. Seminar Aktuelle Entwicklungen der Mikroelektronik, Bad Hofgastein 1999, ed. by K. Riedling, p. 197
Original Titel:
CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductors
Sprache des Titels:
Englisch
Original Buchtitel:
Proceedings Seminar Aktuelle Entwicklungen der Mikroelektronik, Bad Hofgastein 1999
Seitenreferenz:
197
Erscheinungsmonat:
3
Erscheinungsjahr:
1999
Notiz zum Zitat:
T. Schwarzl, W. Heiß, G. Kocher-Oberlehner, G. Springholz CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductors Proc. Seminar Aktuelle Entwicklungen der Mikroelektronik, Bad Hofgastein 1999, ed. by K. Riedling, p. 197