Publikationsdetails

Zitat:	Thomas Schwarzl, Wolfgang Johann Heiß, Gudrun Kocher-Oberlehner, Gunther Springholz, "CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductors" , in K. Riedling: Proceedings Seminar Aktuelle Entwicklungen der Mikroelektronik, Bad Hofgastein 1999, Seite(n) 197, 3-1999, ISBN: 3-901578-04-8, T. Schwarzl, W. Heiß, G. Kocher-Oberlehner, G. Springholz CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductors Proc. Seminar Aktuelle Entwicklungen der Mikroelektronik, Bad Hofgastein 1999, ed. by K. Riedling, p. 197
Original Titel:	CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductors
Sprache des Titels:	Englisch
Original Buchtitel:	Proceedings Seminar Aktuelle Entwicklungen der Mikroelektronik, Bad Hofgastein 1999
Seitenreferenz:	197
Erscheinungsmonat:	3
Erscheinungsjahr:	1999
Notiz zum Zitat:	T. Schwarzl, W. Heiß, G. Kocher-Oberlehner, G. Springholz CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductors Proc. Seminar Aktuelle Entwicklungen der Mikroelektronik, Bad Hofgastein 1999, ed. by K. Riedling, p. 197
ISBN:	3-901578-04-8
Anzahl der Seiten:	1
Reichweite:	international
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in Tagungsband (nicht-referiert)
Autoren:	Thomas Schwarzl, Wolfgang Johann Heiß, Gudrun Kocher-Oberlehner, Gunther Springholz
Forschungseinheiten:	Abteilung für Festkörperphysik Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik

fodok.jku.at

Benutzerbetreuung: Sandra Winzer, letzte Änderung:

Johannes Kepler Universität (JKU) Linz, Altenbergerstr. 69, A-4040 Linz, Austria
Telefon + 43 732 / 2468 - 9121, Fax + 43 732 / 2468 - 29121, Internet www.jku.at, Impressum