S. Herzog, A. Simionescu, G. Hobler, Leopold Palmetshofer, Kurt Piplits, M. Grasserbauer,
"Monte Carlo Simulation of Channelled Phosphorus Implantations in Silicon"
, in H.C. de Graaff, H. van Kranenburg: Proc. ESSDERC 95, Seite(n) 187, 1995, S. Herzog, A. Simionescu, G. Hobler, L. Palmetshofer, K. Piplits, M. Grasserbauer. Proc. ESSDERC 95, Eds. H.C. de Graaff, H. van Kranenburg:Monte Carlo Simulation of Channelled Phosphorus Implantations in Silicon; (Edition Frontiers 1995) p 187
Original Titel:
Monte Carlo Simulation of Channelled Phosphorus Implantations in Silicon
Sprache des Titels:
Englisch
Original Buchtitel:
Proc. ESSDERC 95
Seitenreferenz:
187
Erscheinungsjahr:
1995
Notiz zum Zitat:
S. Herzog, A. Simionescu, G. Hobler, L. Palmetshofer, K. Piplits, M. Grasserbauer. Proc. ESSDERC 95, Eds. H.C. de Graaff, H. van Kranenburg:Monte Carlo Simulation of Channelled Phosphorus Implantations in Silicon; (Edition Frontiers 1995) p 187