Publikationsdetails

Zitat:	Gunther Springholz, Karin Wiesauer, "Fabrication of Semiconductor Nano-Structures by Scanning Force Microscopy" , in Current Developments of Microelectronics, 1999, K. Wiesauer, G. Springholz: "Fabrication of Semiconductor Nanostructures by Scanning Force Microscopy", In: "Current Developments of Microelectronics", ed. K. Riedling, Gesellschaft für Mikroelektronik, Wien 1999, p. 171-174.
Original Titel:	Fabrication of Semiconductor Nano-Structures by Scanning Force Microscopy
Sprache des Titels:	Englisch
Journal:	Current Developments of Microelectronics
Erscheinungsjahr:	1999
Notiz zum Zitat:	K. Wiesauer, G. Springholz: "Fabrication of Semiconductor Nanostructures by Scanning Force Microscopy", In: "Current Developments of Microelectronics", ed. K. Riedling, Gesellschaft für Mikroelektronik, Wien 1999, p. 171-174.
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in sonstiger referierter Fachzeitschrift
Autoren:	Gunther Springholz, Karin Wiesauer
Forschungseinheiten:	Abteilung für Halbleiterphysik Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik

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