Publikationsdetails

Zitat:	A. Klumpp, H. Sigmund, Gunther Springholz, ""Photoinduced transformation of Polysiloxane Layers to SiO2"" , 1990, ISBN: 1-55899-352-5, H. Sigmund, A. Klumpp, G. Springholz: "Photoinduced transformation of Polysiloxane Layers to SiO2", Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 158, 273 (1990), ISBN 1-55899-352-5
Original Titel:	"Photoinduced transformation of Polysiloxane Layers to SiO2"
Sprache des Titels:	Englisch
Englischer Titel:	Photoinduced transformation of Polysiloxane Layers to SiO2
Erscheinungsjahr:	1990
Notiz zum Zitat:	H. Sigmund, A. Klumpp, G. Springholz: "Photoinduced transformation of Polysiloxane Layers to SiO2", Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 158, 273 (1990), ISBN 1-55899-352-5
ISBN:	1-55899-352-5
Anzahl der Seiten:	0
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in sonstiger referierter Fachzeitschrift
Autoren:	A. Klumpp, H. Sigmund, Gunther Springholz
Forschungseinheiten:	Abteilung für Halbleiterphysik Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik

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