Thomas Schwarzl, Wolfgang Johann Heiß, Gudrun Kocher-Oberlehner, Gunther Springholz,
"CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductor Nanostructures"
, in Semiconductor Science and Technology, Vol. 14, Seite(n) L11-L14, 1999, T. Schwarzl, W. Heiß, G. Kocher-Oberlehner, G. Springholz: CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductor Nanostructures, Semicond. Sci. Technol. 14, L11-L14 (1999)
Original Titel:
CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductor Nanostructures
Sprache des Titels:
Englisch
Journal:
Semiconductor Science and Technology
Volume:
14
Seitenreferenz:
L11-L14
Erscheinungsjahr:
1999
Notiz zum Zitat:
T. Schwarzl, W. Heiß, G. Kocher-Oberlehner, G. Springholz: CH4/H2 Plasma Etching of IV-VI Semiconductor Nanostructures, Semicond. Sci. Technol. 14, L11-L14 (1999)