Publikationsdetails

Zitat:	M. Pletea, Reinhold Koch, H. Wendrock, R. Kaltofen, Oliver G. Schmidt, "In situ stress evolution during and after sputter deposition of Al thin films" , in Journal of Physics: Condensed Matter, Vol. 21, Seite(n) 225008/1-8, 2009, ISSN: 1361-648X
Original Titel:	In situ stress evolution during and after sputter deposition of Al thin films
Sprache des Titels:	Englisch
Journal:	Journal of Physics: Condensed Matter
Volume:	21
Seitenreferenz:	225008/1-8
Erscheinungsjahr:	2009
ISSN:	1361-648X
Anzahl der Seiten:	8
DOI:	10.1088/0953-8984/21/22/225008
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in SCI-Expanded-Zeitschrift
Autoren:	M. Pletea, Reinhold Koch, H. Wendrock, R. Kaltofen, Oliver G. Schmidt
Forschungseinheiten:	Abteilung für Festkörperphysik Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik

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