Publikationsdetails

Zitat:	Helmut Sitter, G.J. Glanner, M.A. Herman, "Exact Determination of the Real Substrate Temperature and Film Thickness in Vacuum Epitaxial Growth Systems by Visible Laser Interferometry" , in Vacuum, Vol. 46, Nummer 1, Seite(n) 69-76, 1995, H. Sitter, G.J.Glanner, M.A. Herman:Exact Determination of the Real Substrate Temperature and Film Thickness in Vacuum Epitaxial Growth Systems by Visible Laser Interferometry, Vacuum 46, 69 (1995)
Original Titel:	Exact Determination of the Real Substrate Temperature and Film Thickness in Vacuum Epitaxial Growth Systems by Visible Laser Interferometry
Sprache des Titels:	Englisch
Journal:	Vacuum
Volume:	46
Number:	1
Seitenreferenz:	69-76
Erscheinungsjahr:	1995
Notiz zum Zitat:	H. Sitter, G.J.Glanner, M.A. Herman:Exact Determination of the Real Substrate Temperature and Film Thickness in Vacuum Epitaxial Growth Systems by Visible Laser Interferometry, Vacuum 46, 69 (1995)
Anzahl der Seiten:	8
DOI:	10.1016/0042-207X(94)E0019-U
Reichweite:	international
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in sonstiger referierter Fachzeitschrift
Autoren:	Helmut Sitter, G.J. Glanner, M.A. Herman
Forschungseinheiten:	Abteilung für Festkörperphysik Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik

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