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"Donor Activity of Ion-implanted Erbium in Silicon"
, 1997, L. Palmetshofer, Yu. Suprun-Belevich, M. Stepikhova:Donor Activity of Ion-implanted Erbium in Silicon, Nucl. Instr. Meth. B 127/128, 479 (1997)
Original Titel:
Donor Activity of Ion-implanted Erbium in Silicon
Sprache des Titels:
Englisch
Englischer Titel:
Donor Activity of Ion-implanted Erbium in Silicon
Erscheinungsjahr:
1997
Notiz zum Zitat:
L. Palmetshofer, Yu. Suprun-Belevich, M. Stepikhova:Donor Activity of Ion-implanted Erbium in Silicon, Nucl. Instr. Meth. B 127/128, 479 (1997)
Publikationstyp:
Aufsatz / Paper in sonstiger referierter Fachzeitschrift