Publikationsdetails

Zitat:	, "Donor Activity of Ion-implanted Erbium in Silicon" , 1997, L. Palmetshofer, Yu. Suprun-Belevich, M. Stepikhova:Donor Activity of Ion-implanted Erbium in Silicon, Nucl. Instr. Meth. B 127/128, 479 (1997)
Original Titel:	Donor Activity of Ion-implanted Erbium in Silicon
Sprache des Titels:	Englisch
Englischer Titel:	Donor Activity of Ion-implanted Erbium in Silicon
Erscheinungsjahr:	1997
Notiz zum Zitat:	L. Palmetshofer, Yu. Suprun-Belevich, M. Stepikhova:Donor Activity of Ion-implanted Erbium in Silicon, Nucl. Instr. Meth. B 127/128, 479 (1997)
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in sonstiger referierter Fachzeitschrift
Forschungseinheiten:	Abteilung für Festkörperphysik Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik

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