G. Hobler, G. Otto, D. Kovac, Leopold Palmetshofer, Karl Emanuel Mayerhofer, Kurt Piplits,
"Multiscale Approach for the Analysis of Channeling Profile Measurements of Ion Implantation Damage"
, in Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and, Vol. 228, Seite(n) 360-363, 2005, ISSN: 1872-9584
Original Titel:
Multiscale Approach for the Analysis of Channeling Profile Measurements of Ion Implantation Damage
Sprache des Titels:
Englisch
Journal:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and
Volume:
228
Seitenreferenz:
360-363
Erscheinungsjahr:
2005
ISSN:
1872-9584
Anzahl der Seiten:
4
Reichweite:
international
Publikationstyp:
Aufsatz / Paper in sonstiger referierter Fachzeitschrift
Forschungs-