R. Klockenkämper, Leopold Palmetshofer, M. Radke, A. v. Bohlen,
"Recording a line profile across ion-implanted conductor paths in Si wafers by a synchrotron beam microprobe"
, in X-Ray Spectrometry, Vol. 31, Seite(n) 373, 2002, ISSN: 1097-4539
Original Titel:
Recording a line profile across ion-implanted conductor paths in Si wafers by a synchrotron beam microprobe
Sprache des Titels:
Englisch
Journal:
X-Ray Spectrometry
Volume:
31
Seitenreferenz:
373
Erscheinungsjahr:
2002
ISSN:
1097-4539
Publikationstyp:
Aufsatz / Paper in sonstiger referierter Fachzeitschrift