Publikationsdetails

Zitat:	Gudrun Innertsberger, "Wachstum und Charakterisierung dünner SiO2-Dielektrika auf Silizium" , 2000, Dipl.Ing. Gudrun Innertsberger: Wachstum und Charakterisierung dünner SiO2-Dielektrika auf Silizium, Dissertation Johannes Kepler University 2000.
Original Titel:	Wachstum und Charakterisierung dünner SiO2-Dielektrika auf Silizium
Sprache des Titels:	Deutsch
Erscheinungsjahr:	2000
Notiz zum Zitat:	Dipl.Ing. Gudrun Innertsberger: Wachstum und Charakterisierung dünner SiO2-Dielektrika auf Silizium, Dissertation Johannes Kepler University 2000.
Publikationstyp:	Dissertation
Autoren:	Gudrun Innertsberger
Forschungseinheiten:	Abteilung für Halbleiterphysik Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik

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