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Publikationsdetails

Zitat: Britta Fünfstück, "Electron beam lithography of Si based heterostructures" , 1998,
Britta Fünfstück: Electron beam lithography of Si based heterostructures, Diploma work Johannes Kepler University 1998
Original Titel: Electron beam lithography of Si based heterostructures
Sprache des Titels: Englisch
Erscheinungsjahr: 1998
Notiz zum Zitat: Britta Fünfstück: Electron beam lithography of Si based heterostructures, Diploma work Johannes Kepler University 1998
Publikationstyp: Diplom- oder Masterarbeit
Autoren: Britta Fünfstück
Forschungseinheiten: Abteilung für Halbleiterphysik
Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik
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