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Publikationsdetails

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Zitat: Moritz Brehm, Gunther Springholz, "Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology (GADEST 2022)" , in Wiley-VCH GmbH, in Phys. Status. Solidi A, Vol. 219, Seite(n) 2200562, 2022
Original Titel: Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology (GADEST 2022)
Sprache des Titels: Englisch
Journal: Phys. Status. Solidi A
Volume: 219
Seitenreferenz: 2200562
Erscheinungsjahr: 2022
Anzahl der Seiten: 1
DOI: 10.1002/pssa.202200562
URL zu weiteren Infos: http://https://onlinelibrary.wiley.com/doi/epdf/10.1002/pssa.202200562
Reichweite: international
Publikationstyp: Aufsatz / Paper in SCI-Expanded-Zeitschrift
Autoren: Moritz Brehm, Gunther Springholz
Forschungseinheiten: Abteilung für Halbleiterphysik
Wissenschaftsgebiete: Physik, Astronomie (ÖSTAT:103)
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