Klaus Piglmayer, Helmut Schieche, R. Chabicovsky,
"Laser-Induced Deposition and Etching of Tungsten Microstructures"
, in Gesellschaft für Mikroelektronik, Wien, Grossarl: Proceedings of the Seminar "Grundlagen und Technologie elektronischer Bauelemente", Seite(n) 87, 1997, ISBN: 3-901578-02-1
Original Titel:
Laser-Induced Deposition and Etching of Tungsten Microstructures
Sprache des Titels:
Englisch
Original Buchtitel:
Proceedings of the Seminar "Grundlagen und Technologie elektronischer Bauelemente"