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Publikationsdetails

Wissenschaftsgebiete 
Zitat: Nikita Arnold, R. Kullmer, Dieter Bäuerle, "Simulation of Growth in Pyrolytic Laser-CVD of Microstructures - I. One-Dimensional Approach" , in Microelectronic Engineering, Vol. 20, Seite(n) 31, 1993
Original Titel: Simulation of Growth in Pyrolytic Laser-CVD of Microstructures - I. One-Dimensional Approach
Sprache des Titels: Englisch
Journal: Microelectronic Engineering
Volume: 20
Seitenreferenz: 31
Erscheinungsjahr: 1993
Anzahl der Seiten: 11
Reichweite: international
Publikationstyp: Aufsatz / Paper in SCI-Expanded-Zeitschrift
Autoren: Nikita Arnold, R. Kullmer, Dieter Bäuerle
Forschungseinheiten: Institut für Angewandte Physik
Wissenschaftsgebiete: Angewandte Physik (ÖSTAT:1203)
Experimentalphysik (ÖSTAT:1209)
Optik (ÖSTAT:1213)
Laserphysik (ÖSTAT:1230)
Laserspektroskopie (ÖSTAT:1237)
Oberflächenphysik (ÖSTAT:1238)
Polymerphysik (ÖSTAT:1239)
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