Publikationsdetails

Zitat:	Nikita Arnold, R. Kullmer, Dieter Bäuerle, "Simulation of Growth in Pyrolytic Laser-CVD of Microstructures - I. One-Dimensional Approach" , in Microelectronic Engineering, Vol. 20, Seite(n) 31, 1993, ISSN: 1873-5568
Original Titel:	Simulation of Growth in Pyrolytic Laser-CVD of Microstructures - I. One-Dimensional Approach
Sprache des Titels:	Englisch
Journal:	Microelectronic Engineering
Volume:	20
Seitenreferenz:	31
Erscheinungsjahr:	1993
ISSN:	1873-5568
Anzahl der Seiten:	11
DOI:	10.1016/0167-9317(93)90205-j
Reichweite:	international
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in SCI-Expanded-Zeitschrift
Autoren:	Nikita Arnold, R. Kullmer, Dieter Bäuerle
Forschungseinheiten:	Institut für Angewandte Physik

Wissenschaftsgebiete:	Angewandte Physik (ÖSTAT:1203) Experimentalphysik (ÖSTAT:1209) Optik (ÖSTAT:1213) Laserphysik (ÖSTAT:1230) Laserspektroskopie (ÖSTAT:1237) Oberflächenphysik (ÖSTAT:1238) Polymerphysik (ÖSTAT:1239)

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