Publikationsdetails

Zitat:	R. Kullmer, Dieter Bäuerle, "Laser-Induced Chemical Etching of Silicon in Chlorine Atmosphere: I. Pulsed-Irradiation" , in Applied Physics A, Vol. 43, Seite(n) 227, 1987
Original Titel:	Laser-Induced Chemical Etching of Silicon in Chlorine Atmosphere: I. Pulsed-Irradiation
Sprache des Titels:	Englisch
Journal:	Applied Physics A
Volume:	43
Seitenreferenz:	227
Erscheinungsjahr:	1987
Anzahl der Seiten:	10
Reichweite:	international
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in SCI-Expanded-Zeitschrift
Autoren:	R. Kullmer, Dieter Bäuerle
Forschungseinheiten:	Institut für Angewandte Physik

Wissenschaftsgebiete:	Angewandte Physik (ÖSTAT:1203) Experimentalphysik (ÖSTAT:1209) Optik (ÖSTAT:1213) Laserphysik (ÖSTAT:1230) Laserspektroskopie (ÖSTAT:1237) Oberflächenphysik (ÖSTAT:1238) Polymerphysik (ÖSTAT:1239)

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