Publikationsdetails

Zitat:	Günter Leyendecker, H. Noll, Dieter Bäuerle, P. Geittner, H. Lydtin, "Rapid Determination of Apparent Activation Energies in Chemical Vapor Deposition" , in Journal of the Electrochemical Society, Vol. 130, Seite(n) 157, 1983, ISSN: 1945-7111
Original Titel:	Rapid Determination of Apparent Activation Energies in Chemical Vapor Deposition
Sprache des Titels:	Englisch
Journal:	Journal of the Electrochemical Society
Volume:	130
Seitenreferenz:	157
Erscheinungsjahr:	1983
ISSN:	1945-7111
Anzahl der Seiten:	10
DOI:	10.1149/1.2119645
Reichweite:	international
Publikationstyp:	Aufsatz / Paper in SCI-Expanded-Zeitschrift
Autoren:	Günter Leyendecker, H. Noll, Dieter Bäuerle, P. Geittner, H. Lydtin
Forschungseinheiten:	Institut für Angewandte Physik

Wissenschaftsgebiete:	Angewandte Physik (ÖSTAT:1203) Experimentalphysik (ÖSTAT:1209) Optik (ÖSTAT:1213) Laserphysik (ÖSTAT:1230) Laserspektroskopie (ÖSTAT:1237) Oberflächenphysik (ÖSTAT:1238) Polymerphysik (ÖSTAT:1239)

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