Bernd Arminger, Stefan Adamsmair, Ferry Kienberger, Peter Hinterdorfer, Bernhard Zagar,
"Piezo-Aktoren und -Sensoren in der Rastersondenmikroskopie"
, in OVE Österreichischer Verband für Elektrotechnik, in E und I - Elektrotechnik und Informationstechnik, Vol. 125, Nummer 3, Springer, Seite(n) 86-91, 3-2008, ISSN: 0932-383X
Original Titel:
Piezo-Aktoren und -Sensoren in der Rastersondenmikroskopie
Sprache des Titels:
Deutsch
Original Kurzfassung:
Piezoelektrische Materialien sind ein zentrales Element
der Rastersondenmikroskopie. Dieser Artikel gibt einen
Überblick über die dominanten Effekte, welche bei Piezos bei der Verwendung als Aktor bzw. Sensor auftreten. Dabei wird auf die Hysterese von Piezos eingangen und ein Verfahren vorgestellt,
wie diese zum Teil kompensiert werden kann. Weiters wird das
dynamische Verhalten von Piezoelementen untersucht und gezeigt
wie mechanische Resonanzen durch sie angeregt werden und wie
diese auch minimiert werden können. Quarzoszillatoren können
auch als Sensoren in der Rastersondenmikroskopie verwendet
werden. Eine konkrete Ausf ¨uhrung ist in Form einer Stimmgabel.
Für diese wird ein elektrisches Modell mit einem mechanischen in Zusammenhang gebracht und beide durch Messungen bestätigt.
Forschungs-