M. Lindstam, Mats Boman, Klaus Piglmayer,
"Halogen lamp-assisted high rate deposition of both hard and elastic carbon films from CH2I2"
, in Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B, Vol. 192, Seite(n) 274, 1-2002, ISSN: 1872-9584, M. Lindstam, M. Boman, K. Piglmayer: Nucl. Instrum. & Methods B 192 (2002) 274
Original Titel:
Halogen lamp-assisted high rate deposition of both hard and elastic carbon films from CH2I2
Sprache des Titels:
Englisch
Journal:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B
Volume:
192
Seitenreferenz:
274
Erscheinungsmonat:
1
Erscheinungsjahr:
2002
Notiz zum Zitat:
M. Lindstam, M. Boman, K. Piglmayer: Nucl. Instrum. & Methods B 192 (2002) 274
Forschungs-