Klaus Piglmayer, Mats Boman, M. Lindstam, R. Chabicovsky,
"Photon-assisted CVD"
, in Journal de Physique IV (Proceedings), Vol. 11, Seite(n) Pr3-703, 1-2001, ISSN: 1764-7177, K. Piglmayer, M. Boman, M. Lindstam, R: Chabicovsky: J. Phys. IV 11 (2001) Pr3-703
Original Titel:
Photon-assisted CVD
Sprache des Titels:
Englisch
Journal:
Journal de Physique IV (Proceedings)
Volume:
11
Seitenreferenz:
Pr3-703
Erscheinungsmonat:
1
Erscheinungsjahr:
2001
Notiz zum Zitat:
K. Piglmayer, M. Boman, M. Lindstam, R: Chabicovsky: J. Phys. IV 11 (2001) Pr3-703