Großflächige Roller Nanoimprint Lithographie für optische und life-science Anwendungen
Sprache der Bezeichnung:
Deutsch
Original Kurzfassung:
Ziel des rollerNIL Projektes ist es mithilfe von Rolle-basierten
Nanoimprintverfahren
großflächig komplexe optische Strukturen, biomimetische Strukturfarben,
zu replizieren.
Dabei soll sowohl die Herstellung der Nanoimprint Master untersucht
werden, als auch an
einer in-line fähigen Prozessmesstechnik geforscht werden. Um den
Prozess zu verstehen
werden Simulationen durchgeführt werden, die es erlauben Rückschlüsse
auf die Material-
und Prozessanforderungen zu ziehen. Imprintmaterialien müssen an die
Anforderungen
angepasst werden. Die in diesem Projekt untersuchte Abformung von
hinterschnittenen
Strukturen stellt eine wesentliche Weiterentwicklung von NIL dar und
soll die prinzipielle
großflächige Anwendbarkeit für biomimetische Strukturfarben aufzeigen.
Sprache der Kurzfassung:
Deutsch
Englische Kurzfassung:
Goal of the rollerNIL project is to replicate complex opticals structues
? biomimetic structural
colors ? using roller-based nanoimprint lithography. Master fabrication
and in-line capable
measurement systems will be investigated. To understand the process
simulations will be
performed, which will allow to detail material and process requirements.
Imprint Materials will
be adapted to the specific needs. The replication of undercut structures
in this project
represents a significant advancement of NIL and aims at demonstrting the
general possibility
to apply large area biomimetic structural colors.