Title:Miniaturisierte thermische Fluidsensoren – Strömungs- und thermische LeitfähigkeitssensorenAuthor(s):A. Talic, Samir Cerimovic, Franz Kohl, Artur Jachimowicz, Thilo Sauter, Thomas Voglhuber-Brunnmaier, Bernhard JakobyAbstract:Sensoren zur Bestimmung der Eigenschaften von Flüssigkeiten und Gasen werden in vielen Bereichen der Mess- und Automatisierungstechnik zur direkten und indirekten Zustandsüberwachung eingesetzt. Dieser Beitrag stellt unterschiedliche Varianten robuster Sensoren zur Bestimmung von Strömungseigenschaften (Geschwindigkeit, Richtung und Strömungsmenge) und zur Vermessung von thermischen Materialparametern (thermische Leitfähigkeit und thermische Diffusivität) von Fluiden vor. Diese Sensoren basieren auf einem thermischen Funktionsprinzip und sind mit Mitteln der Mikrotechnologie kostengünstig herstellbar. Ausgehend von einem einzigen Basisdesign können sie als kalorimetrische Strömungssensoren oder als thermische Leitfähigkeitssensoren ausgeführt und betrieben werden. Im vorliegenden Beitrag werden die theoretischen Grundlagen erläutert und einige Anwendungsbeispiele diskutiert.Journal:E und I - Elektrotechnik und InformationstechnikPublisher:Springer Verlag WienISSN:0932-383XPage Reference:page 191-198, 8 page(s)Publishing:7/2015Volume:132Number:4-5