Title:Einsatz von Magnetfeldsensoren in der zerstörungsfreien Materialprüfung und QualitätssicherungAuthor(s):Patrick Hölzl,  Florian Dietachmayr,  Johannes Atzlesberger,  Bernhard ZagarAbstract:Die zerstörungsfreie Materialprüfung spielt in der Industrie eine wichtige Rolle, insbesondere im Bereich der Qualitätskontrolle. Dabei haben sich in den letzten Jahren vermehrt Verfahren durchgesetzt, die auf magnetischer Bildgebung basieren. Im vorliegenden Beitrag werden Sensoren basierend auf zwei unterschiedlichen Effekten, dem Riesenmagnetowiderstand (engl. giant magnetoresistance, GMR) und dem Faraday-Effekt beschrieben und ihre Einsatzmöglichkeiten in der Qualitätssicherung demonstriert. Die Einsatzgebiete kommerzieller Sensoren, die auf diesen beiden Effekten basieren, reichen von der Qualitätssicherung in der Stahlindustrie bis zur Endkontrolle von integrierten Schaltungen in der Halbleiterindustrie. Es wird gezeigt, dass GMR--Sensoren in der Lage sind selbst kleinste Einschlüsse in Stahlbändern bereits während der Produktion sicher zu erkennen. Mittels eines GMR-Zeilensensors können stromdurchflossene Leiter innerhalb eines Halbleiter-Chips kontrolliert werden. Damit eröffnen sich parallel zu den sonst üblichen potentiometrischen auch magnetfeldbasierte Charakterisierungsverfahren in der Endkontrolle der ICs. Der Prüfung mittels GMR-Zeilensensoren wird auch die Messdatenaufnahme über flächig messende, auf dem Faraday--Effekt beruhende Sensoren gegenübergestellt.Journal:E und I - Elektrotechnik und InformationstechnikPublisher:Springer ViennaEditor(s):OVEISSN:0932-383XPage Reference:page 199-206, 8 page(s)Publishing:8/2015Volume:132Number:4-5

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