Title:Speckle-basierte Messverfahren zur Charakterisierung rauer OberflächenAuthor(s):Johannes LettnerAbstract:Die Beschichtung von Materialien wird heute in vielen Gebieten angewendet. Mit fortschreitender technischer Entwicklung und aus Kostengründen werden immer dünnere Schichtdicken bei vergleichbarer Funktionalität gefordert, deren Einhaltung im Produktionsprozess permanent überwacht werden muss. Zerstörungsfreie Prüfverfahren, die im laufenden Produktionsprozess verwendet werden können, werden bevorzugt, um das beschichtete Produkt sowie dessen Produktionsprozess möglichst wenig zu beeinflussen. Laser-Speckle-Verfahren eignen sich besonders für die Messung von µm dünnen, transparenten Schichten auf reflektierenden, optisch rauen Trägermaterialien. Durch Interferenz der an einer rauen Oberfläche gebeugten Wellenfronten entsteht ein sogenanntes Speckle-Muster. Die statistischen Eigenschaften des Speckle-Musters (mittlere Specklegröße, Kontrast, usw.) werden durch verschiedene Parameter, wie der Rauheit des unbeschichteten Materials und den optischen Eigenschaften der Beschichtung, der Wellenlänge und des Durchmessers des beleuchteten Bereichs sowie des Brechungsindex der transparenten Beschichtung beeinflusst. In dieser Arbeit werden Speckle in verschiedenen Anwendungsgebieten diskutiert, um einen Gesamtüberblick zu erhalten. Für das bessere Verständnis werden die Grundlagen der Speckle-Messtechnik und die Grundlagen zur Flüssigkeitsverteilung auf rauen Oberflächen sowie Fehlerquellen in optischen Messaufbauten untersucht. In der vorliegenden Arbeit werden verschiedene berührungslose Laser-Speckle-Verfahren zur Schichtdickenbestimmung im µm-Bereich von transparenten Schichten auf Metall erarbeitet. Neben der Diskussion der Vor- und Nachteile der verschiedenen Verfahren werden auch die grundlegenden Ergebnisse der Speckle-Messungen der rauen Oberfläche gezeigt. Es wird jeweils das Prinzip des Messaufbaus und die Auswertung diskutiert sowie damit erzielte Messergebnisse präsentiert.Publishing:10/2013

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