Title:Entwicklung und Design eines bidirektionalen Heißfilm-StrömungssensorsAuthor(s):Samir Cerimovic, Johannes Schalko, Franz Keplinger, A. Talic, Franz Kohl, Roman Beigelbeck, Hannes Antlinger, Bernhard JakobyAbstract:Ein Heißfilmwiderstand, bestehend aus amorphem Germanium, wird in eine dünne Membran eingebettet und durch Kontaktierungsstreifen in vier Segmente geteilt. Diese bilden eine Wheatstone-Messbrücke, die mit konstantem Strom versorgt wird. Die Spannung an den Anschlussklemmen der Brücke korreliert mit der Strömungsgeschwindigkeit, wobei dieses Ausgangssignal unipolar ist, d.h. unabhängig von der Strömungsrichtung. Die Brückenspannung jedoch zeichnet sich durch eine bipolare Charakteristik aus, sodass ihr Vorzeichen zur Bestimmung der Strömungsrichtung herangezogen werden kann. Mit dem neuen Layout ist es somit möglich gleichzeitig Strömungsgeschwindigkeit und Strömungsrichtung zu bestimmen. Letzteres ist mit herkömmlichen Anemometern nicht möglich. Zudem weist es gegenüber klassischen kalorimetrischen Strömungssensoren den Vorteil einer nicht-sättigenden Kennlinie der Strömungscharakteristik auf.Booktitle:Tagungsband zur Informationstagung Mikroelektronik (OVE Schriftenreihe Nr. 64)Editor(s):OVE Schriftenreihe Nr. 64Page Reference:page 123-129, 7 page(s)Publishing:2012