Title:Analytisches Verfahren zur näherungsweisen Lösung des Schwarz-Christoffel Parameterproblems beim Entwurf von kapazitiven SensorenAuthor(s):Norbert Eidenberger, Bernhard ZagarAbstract:Konforme Abbildungen stellen ein Werkzeug zur Analyse von kapazitiven Sensoren dar. Insbesondere die Schwarz-Christoffel Transformation (SCT) wird oft eingesetzt um konforme Abbildungen zu erzeugen, wobei bei der Konstruktion der SCT deren Parameter für jeden Sensoraufbau bestimmt werden müssen. Das Standardverfahren zur Lösung dieses SCT Parameterproblems setzt numerische Näherungen ein, wodurch der nachfolgende Einsatz von analytischen Methoden unmöglich wird. In diesem Artikel schlagen wir ein Lösungsverfahren für das SCT Parameterproblem basierend auf einer Reihenentwicklung der SC Ansatzfunktion vor. Die geeignete Modellierung der Sensorelektroden ermöglicht eine Approximation der exakten Lösung als Funktion des Ortes sowie der Geometrie der Sensorelektroden, wodurch eine weitergehende Analyse des Aufbaus möglich wird. Durch die Approximation wird eine Lösung erzeugt, die nur für einen ähnlichen Sensoraufbau gilt. Aufgrund der Struktur der SCT kann durch geeignetes Vorverzerren der Geometrieparameter die Lösung für den ursprünglichen Sensoraufbau gefunden werden. Damit kann das vorgestellte Verfahren für Entwurf und Analyse von Elektrodenkonfigurationen eingesetzt werden, die mit den Standardmethoden bisher nicht analytisch erfasst werden konnten.Booktitle:Tagungsband zur Informationstagung Mikroelektronik 12Publisher:OVE Österreichischer Verband für ElektrotechnikEditor(s):Christoph Grimm, Bernhard Jakoby, Peter Reichel, Erwin Schoitsch, Karl UnterrainerISBN:978-3-85133-071-7Page Reference:page 130-137, 8 page(s)Publishing:4/2012Series:OVE SchriftenreiheNumber:64