Title:Piezo-Aktoren und -Sensoren in der RastersondenmikroskopieAuthor(s):Bernd Arminger, Stefan Adamsmair, Ferry Kienberger, Peter Hinterdorfer, Bernhard ZagarAbstract:Piezoelektrische Materialien sind ein zentrales Element der Rastersondenmikroskopie. Dieser Artikel gibt einen Überblick über die dominanten Effekte, welche bei Piezos bei der Verwendung als Aktor bzw. Sensor auftreten. Dabei wird auf die Hysterese von Piezos eingangen und ein Verfahren vorgestellt, wie diese zum Teil kompensiert werden kann. Weiters wird das dynamische Verhalten von Piezoelementen untersucht und gezeigt wie mechanische Resonanzen durch sie angeregt werden und wie diese auch minimiert werden können. Quarzoszillatoren können auch als Sensoren in der Rastersondenmikroskopie verwendet werden. Eine konkrete Ausf ¨uhrung ist in Form einer Stimmgabel. Für diese wird ein elektrisches Modell mit einem mechanischen in Zusammenhang gebracht und beide durch Messungen bestätigt.Journal:E und I - Elektrotechnik und InformationstechnikPublisher:SpringerEditor(s):OVE Österreichischer Verband für ElektrotechnikISSN:0932-383XPage Reference:page 86-91, 6 page(s)Publishing:3/2008Volume:125Number:3