Spectroscopic Ellipsometry for Crystal Growth of II-VI Compounds
Sprache der Bezeichnung:
Englisch
Original Kurzfassung:
Mit Hilfe der spektral aufgelösten Ellipsometrie können die Zusammensetzung und die Dicke eines epitaktischen Films in situ während des Wachstums bestimmt werden. Diese Methode ist für eine große Zahl von Materialien bereits erfolgreich angewendet worden und soll in diesem Projekt für II-VI-Verbindungshalbleiter erprobt werden.
Sprache der Kurzfassung:
Deutsch
Englische Bezeichnung:
Spectroscopic Ellipsometry for Crystal Growth of II-VI Compounds